隨著新材料行業(yè)的發(fā)展，全國(guó)各地新材料行業(yè)的規(guī)模也日益擴(kuò)大，新材料的發(fā)展對(duì)社會(huì)起了積極的作用,然而其對(duì)生態(tài)環(huán)境的破壞也是存在的,影響z大的是有機(jī)化合物或毒性物質(zhì)。

新材料行業(yè)半導(dǎo)體廢氣處理方法及工藝

新材料行業(yè)與傳統(tǒng)材料相比，新材料產(chǎn)業(yè)具有技術(shù)高度密集，研究與開(kāi)發(fā)投入高，產(chǎn)品的附加值高，生產(chǎn)與市場(chǎng)的國(guó)際性強(qiáng)，以及應(yīng)用范圍廣，發(fā)展前景好等特點(diǎn)，其研發(fā)水平及產(chǎn)業(yè)化規(guī)模已成為衡量一個(gè)國(guó)家經(jīng)濟(jì)，社會(huì)發(fā)展，科技進(jìn)步和國(guó)防實(shí)力的重要標(biāo)志，世界各國(guó)特別是發(fā)達(dá)國(guó)家都十分重視新材料產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。 作為新材料產(chǎn)業(yè)的代表之一，半導(dǎo)體工藝對(duì)操作室清潔度要求極高，通常使用風(fēng)機(jī)抽取工藝過(guò)程中揮發(fā)的各類廢氣，因此半導(dǎo)體行業(yè)廢氣排放具有排氣量大、排放濃度小的特點(diǎn)。這些廢氣排放主要可以分為四類：酸性氣體、堿性氣體、有機(jī)廢氣和有毒氣體。

半導(dǎo)體企業(yè)酸性或堿性廢氣：酸堿中和處理法。

酸堿廢氣治理工藝流程為： 風(fēng)管廢氣收集→酸性/堿性廢氣洗滌塔化學(xué)洗滌→耐腐蝕風(fēng)機(jī)引風(fēng)→煙囪排氣達(dá)標(biāo)排放

有機(jī)廢氣治理工藝：直接燃燒法

有機(jī)廢氣治理工藝流程為： 有機(jī)廢氣風(fēng)管廢氣收集→沸石轉(zhuǎn)輪吸附濃縮→直燃爐（TO）→煙囪排氣達(dá)標(biāo)排放

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