三塔式RTO蓄熱式焚燒爐在半導體制造業中的應用實踐
三塔式RTO蓄熱式焚燒爐在半導體制造業中的應用實踐摘要
2.1 背景某半導體制造企業在制程廢氣處理方面面臨挑戰，需要一種高效且環保的解決方案。2.2 應用細節應用領域半導體制造業制程廢氣處理廢氣類型制程廢氣、氣相污染物設備處理能力15,000 Nm3/h廢氣濃度100-800 ppm（波動）廢氣處理效率99%以上能源回收率94%以上運行時長每日20小時2.3 成功經驗高效廢氣處理： 三塔式RTO蓄熱式焚燒爐成功處理了半導體制造中復雜的氣相污染物，廢氣處
2.1 背景
某半導體制造企業在制程廢氣處理方面面臨挑戰，需要一種高效且環保的解決方案。
2.2 應用細節
| 應用領域 | 半導體制造業制程廢氣處理 |
|---|---|
| 廢氣類型 | 制程廢氣、氣相污染物 |
| 設備處理能力 | 15,000 Nm3/h |
| 廢氣濃度 | 100-800 ppm（波動） |
| 廢氣處理效率 | 99%以上 |
| 能源回收率 | 94%以上 |
| 運行時長 | 每日20小時 |
2.3 成功經驗
高效廢氣處理： 三塔式RTO蓄熱式焚燒爐成功處理了半導體制造中復雜的氣相污染物，廢氣處理效率維持在99%以上，確保了廢氣排放達標。
能源高效利用： 設備能源回收率達到94%以上，通過回收廢氣中的熱能，為企業提供了額外的能源來源，降低了能源開支。
穩定運行： 在每日20小時運行的情況下，設備表現出色，維持高效、穩定的運行狀態，為制程提供了可靠的廢氣處理解決方案。
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