新材料行業(yè)半導(dǎo)體廢氣處理方法及工藝
新材料行業(yè)半導(dǎo)體廢氣處理方法及工藝摘要
隨著新材料行業(yè)的發(fā)展,全國各地新材料行業(yè)的規(guī)模也日益擴大,新材料的發(fā)展對社會起了積極的作用,然而其對生態(tài)環(huán)境的破壞也是存在的,影響z大的是有機化合物或毒性物質(zhì)。 新材料行業(yè)半導(dǎo)體廢氣處理方法及工藝 新材料行業(yè)與傳統(tǒng)材料相比,新材料產(chǎn)業(yè)具有技術(shù)高度密集,研究與開發(fā)投入高,產(chǎn)品的附加值高,生產(chǎn)與市場的國際性強,以及應(yīng)用范圍廣,發(fā)展前景好等特點,其研發(fā)水平及產(chǎn)業(yè)化規(guī)模已成為衡量一個國家經(jīng)
隨著新材料行業(yè)的發(fā)展,全國各地新材料行業(yè)的規(guī)模也日益擴大,新材料的發(fā)展對社會起了積極的作用,然而其對生態(tài)環(huán)境的破壞也是存在的,影響z大的是有機化合物或毒性物質(zhì)。
新材料行業(yè)半導(dǎo)體廢氣處理方法及工藝
新材料行業(yè)與傳統(tǒng)材料相比,新材料產(chǎn)業(yè)具有技術(shù)高度密集,研究與開發(fā)投入高,產(chǎn)品的附加值高,生產(chǎn)與市場的國際性強,以及應(yīng)用范圍廣,發(fā)展前景好等特點,其研發(fā)水平及產(chǎn)業(yè)化規(guī)模已成為衡量一個國家經(jīng)濟,社會發(fā)展,科技進(jìn)步和國防實力的重要標(biāo)志,世界各國特別是發(fā)達(dá)國家都十分重視新材料產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。 作為新材料產(chǎn)業(yè)的代表之一,半導(dǎo)體工藝對操作室清潔度要求極高,通常使用風(fēng)機抽取工藝過程中揮發(fā)的各類廢氣,因此半導(dǎo)體行業(yè)廢氣排放具有排氣量大、排放濃度小的特點。這些廢氣排放主要可以分為四類:酸性氣體、堿性氣體、有機廢氣和有毒氣體。
半導(dǎo)體企業(yè)酸性或堿性廢氣:酸堿中和處理法。
酸堿廢氣治理工藝流程為: 風(fēng)管廢氣收集→酸性/堿性廢氣洗滌塔化學(xué)洗滌→耐腐蝕風(fēng)機引風(fēng)→煙囪排氣達(dá)標(biāo)排放
有機廢氣治理工藝:直接燃燒法
有機廢氣治理工藝流程為: 有機廢氣風(fēng)管廢氣收集→沸石轉(zhuǎn)輪吸附濃縮→直燃爐(TO)→煙囪排氣達(dá)標(biāo)排放
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