隨著科技的發展，目前市場上新材料行業與傳統材料相比，其應用范圍更廣了，新材料產業的研究與開發投入高，產品的附加值高在生產與市場的國際性強，而且新材料半導體行業的發展前景好。而新材料半導體行業在加工的過程中采用清洗劑、顯影劑、光刻膠、蝕刻液等溶劑，這些溶劑中含有大量的有機物成分，在整個工藝加工的過程中將會有部分的有機溶劑大部分通過揮發成為廢氣排放，這部分揮發的廢氣主要成分為具有揮發性的VOCs，下面講解一下關于：新材料半導體行業的廢氣應該怎么處理。#催化燃燒廢氣處理設備#

　　新材料半導體行業的廢氣除了含有VOCs以外，還混有HCl、氨、HF等危險污染物，天清佳遠采用的是RTO蓄熱式焚燒爐來處理半導體行業的廢氣：工業廢氣中主要含有酸性氣體、堿性氣體、有機廢氣和有毒氣體四種，自身具有的溶解特性，半導體工業的氣體雖然排放量大，但是氣體的濃度低。

　　RTO設備采用的是高溫破壞焚燒的廢氣治理技術，升溫能源一般是電和天然氣，其高溫需高達700度或者以上，雖然溫度需高達700度左右，但是其實消耗的能源并不多，設備運行期間部分的熱能是能夠回收重新利用的，降低能量消耗的同時提高了廢氣分子的燃燒反應速率。

　　天清佳遠環境半導體材料廢氣處理設備的凈化效率可維持穩定在99%以上。