太陽(yáng)能電池板廢氣處理工藝
太陽(yáng)能電池板廢氣處理工藝摘要
太陽(yáng)能電池行業(yè)在生產(chǎn)過(guò)程中產(chǎn)生的污染環(huán)境的氣體,常見(jiàn)的有用水清洗多晶硅料產(chǎn)生的有氮氧化物、VOCs有機(jī)廢氣和酸霧。在此過(guò)程中會(huì)產(chǎn)生各種廢氣,如果直接排入大氣,會(huì)對(duì)環(huán)境和周邊人員健康造成很大影響,必須經(jīng)過(guò)尾氣處理設(shè)備凈化處理。那么太陽(yáng)能電池板廢氣怎么處理? 一、廢氣種類及來(lái)源 目前太陽(yáng)能電池生產(chǎn)所產(chǎn)生的廢氣主要有酸堿排氣、有機(jī)排氣、硅烷氨氣排氣及熱排氣,都需要進(jìn)行尾氣處理設(shè)備處理后,
太陽(yáng)能電池行業(yè)在生產(chǎn)過(guò)程中產(chǎn)生的污染環(huán)境的氣體,常見(jiàn)的有用水清洗多晶硅料產(chǎn)生的有氮氧化物、VOCs有機(jī)廢氣和酸霧。在此過(guò)程中會(huì)產(chǎn)生各種廢氣,如果直接排入大氣,會(huì)對(duì)環(huán)境和周邊人員健康造成很大影響,必須經(jīng)過(guò)尾氣處理設(shè)備凈化處理。那么太陽(yáng)能電池板廢氣怎么處理?
一、廢氣種類及來(lái)源
目前太陽(yáng)能電池生產(chǎn)所產(chǎn)生的廢氣主要有酸堿排氣、有機(jī)排氣、硅烷氨氣排氣及熱排氣,都需要進(jìn)行尾氣處理設(shè)備處理后,廢氣達(dá)標(biāo)方可排入大氣中。其廢氣來(lái)源有以下幾個(gè)方面:
1.酸性廢氣:主要來(lái)源來(lái)自太陽(yáng)能電池生產(chǎn)中的制絨和去磷硅玻璃工序產(chǎn)生的HF、NOx等酸性氣態(tài)污染物。
2.擴(kuò)散廢氣:擴(kuò)散工序產(chǎn)生的廢氣主要是CL2。
3.刻蝕廢氣:刻蝕廢氣中的污染物主要為HF、CO2和少量的SiO2。
4.PECVD 廢氣:PECVD廢氣主要為未發(fā)生反應(yīng)的SiH4、NH3和反應(yīng)生成的H2。
5.印刷廢氣和燒結(jié)廢氣:印刷和燒結(jié)工序廢氣主要是由于漿料中的有機(jī)溶劑等物質(zhì)揮發(fā)的有機(jī)氣態(tài)物質(zhì),有機(jī)物的產(chǎn)生情況與漿料的成分、含量等因素密切相關(guān)
二、太陽(yáng)能電池板廢氣處理方法
太陽(yáng)能電池板廢氣主要污染物有:硅烷廢氣、噴漆廢氣、酸性廢氣、有機(jī)溶劑揮發(fā)。對(duì)于不同的廢氣種類所采用的廢氣處理方法不同,主要有以下幾種方法:
噴淋塔噴淋法 催化燃燒法 活性炭吸附法 現(xiàn)在最常用的是以活性炭作為吸附介質(zhì),廢氣通過(guò)活性炭吸附裝置,由于在固體吸附劑(活性炭)和有機(jī)揮發(fā)物之間存在的分子間引力(范德華力),使廢氣中的有機(jī)物被活性炭吸附,從而使氣體得到凈化?;钚蕴课皆O(shè)備處理效率高、投資小、操作方便。
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