光刻膠在半導(dǎo)體制造過(guò)程中產(chǎn)生的廢氣主要包括光刻膠揮發(fā)物和溶劑蒸汽。光刻膠揮發(fā)物主要是由光刻膠中的有機(jī)成分揮發(fā)而成，而溶劑蒸汽則是在清洗和溶解光刻膠的過(guò)程中產(chǎn)生的。

典型的光刻膠成分包括以下幾種：

1. 聚合物基質(zhì)：光刻膠中的聚合物基質(zhì)是其主要成分之一，用于形成光刻圖案并固化。常見(jiàn)的聚合物有聚甲基丙烯酸甲酯（PMMA）、聚酰亞胺（PI）等。

2. 溶劑：為了使光刻膠具有適當(dāng)?shù)恼扯群土鲃?dòng)性，通常需要添加溶劑。常用的溶劑包括甲苯、丙酮、二甲苯等。

3. 添加劑：光刻膠中還可能添加各種添加劑，如增溶劑、抗溶劑、光敏劑等，以調(diào)節(jié)其性能和特性。

在光刻過(guò)程中，這些有機(jī)成分會(huì)揮發(fā)出來(lái)，形成廢氣。光刻膠產(chǎn)生的廢氣中，光刻膠揮發(fā)物和溶劑蒸汽的成分和濃度占比會(huì)根據(jù)具體的光刻膠配方、工藝條件以及清洗步驟的不同而有所差異。

光刻膠產(chǎn)生的廢氣中含有揮發(fā)性有機(jī)化合物和溶劑蒸汽，針對(duì)這些物質(zhì)，常見(jiàn)的處理方法包括活性炭吸附催化燃燒和沸石轉(zhuǎn)輪催化燃燒兩種。

1. 活性炭吸附催化燃燒：

• 吸附過(guò)程：廢氣首先通過(guò)活性炭層，活性炭具有大量微孔和表面活性，能夠吸附廢氣中的有機(jī)揮發(fā)物和溶劑蒸汽。
• 催化燃燒過(guò)程：經(jīng)過(guò)活性炭吸附后的廢氣進(jìn)入催化燃燒裝置，催化劑（常見(jiàn)的催化劑包括鉑、鉬等）的作用下，有機(jī)物被氧化為二氧化碳和水，實(shí)現(xiàn)凈化。

2. 沸石轉(zhuǎn)輪催化燃燒：

• 吸附過(guò)程：廢氣通過(guò)沸石轉(zhuǎn)輪，沸石轉(zhuǎn)輪表面的沸石顆粒具有大量的微孔和表面積，能夠高效吸附廢氣中的有機(jī)揮發(fā)物和溶劑蒸汽。

• 催化燃燒過(guò)程：吸附后的廢氣進(jìn)入催化燃燒裝置，在高溫條件下，有機(jī)物經(jīng)催化劑的作用氧化為無(wú)害物質(zhì)，如二氧化碳和水。

  
  

對(duì)比：

• 處理效率：沸石轉(zhuǎn)輪催化燃燒技術(shù)相比活性炭吸附催化燃燒技術(shù)，處理效率更高，通常能達(dá)到95%以上，而活性炭吸附催化燃燒技術(shù)處理效率一般在80%至90%之間。

• 穩(wěn)定性：沸石轉(zhuǎn)輪催化燃燒技術(shù)的穩(wěn)定性更好，能夠在較長(zhǎng)時(shí)間內(nèi)持續(xù)穩(wěn)定運(yùn)行，而活性炭吸附催化燃燒技術(shù)可能會(huì)因?yàn)榛钚蕴康娘柡秃痛呋瘎┑氖Ф鴮?dǎo)致處理效果下降。

• 適用性：沸石轉(zhuǎn)輪催化燃燒技術(shù)適用于處理高濃度、高溫度、有機(jī)物種類(lèi)復(fù)雜的廢氣，而活性炭吸附催化燃燒技術(shù)對(duì)于這些廢氣可能存在一定限制。

• 運(yùn)行成本：沸石轉(zhuǎn)輪催化燃燒技術(shù)相對(duì)于活性炭吸附催化燃燒技術(shù)可能具有較低的運(yùn)行成本，因?yàn)榉惺D(zhuǎn)輪的更換周期較長(zhǎng)，而活性炭的更換需要周期性進(jìn)行，增加了運(yùn)行成本。

綜上所述，沸石轉(zhuǎn)輪催化燃燒技術(shù)相比活性炭吸附催化燃燒技術(shù)在處理光刻膠產(chǎn)生的廢氣時(shí)更具有優(yōu)勢(shì)，具有更高的處理效率、穩(wěn)定性和適應(yīng)性，能夠提供更全面的廢氣處理方案。