廢氣處理又稱廢氣凈化，指的是針對工業場所、工廠車間產生的廢氣在對外排放前進行預處理，以達到廢氣對外排放的標準的工作。

　　催化燃燒是一種類似熱氧化的方式來處理VOC 的, 它凈化有機物是用鉑、鈀等貴金屬催化劑及過渡金屬氧化物催化劑來代替火焰, 操作溫度較熱氧化低一半, 通常為250 ℃～500 ℃。由于溫度降低, 允許使用標準材料來代替昂貴的特殊材料, 大大地降低設備費用和操作費用。與熱氧化相似, 系統仍可分為間壁式催化燃燒和蓄熱式催化燃燒兩類熱量回收方式。

　　間壁式催化燃燒(簡稱為TR0)是在催化床后設一個換熱器,該換熱器在降低排放氣溫度的同時, 也預熱含VOC 的有機廢氣, 其熱回收達60 %～75 %。該類氧化器早已用于工業過程。

　　蓄熱催化燃燒(簡稱為RCO) 是一種新的催化技術。它具有RTO 高效回收能量的特點和催化反應的低溫操作及能量有效性的優點, 將催化劑置于蓄熱材料的頂部, 來使凈化達到優, 其熱回收率高達95 %～98 %。RCO 系統性能的關鍵是使用專用的催化劑,浸漬在鞍狀或是蜂窩狀陶瓷上的貴金屬或過渡金屬催化劑, 允許氧化發生在RTO 系統溫度的一半,既降低了燃料消耗, 又降低了設備造價。

　　有的已經開始使用RCO 技術進行有機廢氣的消除處理, 很多RTO 設備已開始轉變成RCO , 這樣可以削減操作費用達33 %～75 % ,并增加排放氣流量達20 %～40 %。