由于VOCs廢氣成分復雜，處理設備的選擇也相對困難。蓄熱式氧化爐(RTO)對尾氣成分適應性強，能有效處理VOCs廢氣，廢氣處理效率高。三室RTO處理VOCs廢氣的效率通常在98%以上，能夠達到排放標準，因此得到了廣泛的應用。

　　RTO廢氣處理設備是一個系統工程，必須作為一個整體來考慮，才能取得整體效果。如果某個環節出現問題，會影響RTO設備運行的穩定性。

　　1.不合理的廢氣收集

　　進氣預處理不充分，廢氣進氣未分類。如鹵素廢氣企業前期未處理，無機酸尾氣未完全處理，直接進入RTO設備，大量酸性氣體造成設備腐蝕，焚燒后煙囪冒白煙。

　　廢氣中的有機物被焚燒產生結晶，殘留在設備底部和排煙管的管壁上。當廢氣切換時，未處理廢氣中的水蒸氣和一些有機物被晶體吸附，被下一次排煙中的煙氣帶出，是廢氣處理設備去除率降低，存在火災隱患的原因。

　　2.VOCs濃度和氧含量缺乏有效控制

　　真空廢氣未冷凝，各車間支管無相應控制措施，直接進入廢氣主管道。高濃度有機廢氣導致RTO設備內溫度過高。當有機廢氣濃度超過爆炸極限時，廢氣直接從RTO設備旁路排出，高濃度廢氣與高溫尾氣的混合造成爆炸事故。發生了火災或爆炸引起的管道爆炸等事故。

　　另一方面，有機廢氣中的氧含量缺乏有效控制。有機溶劑在沒有氮氣保護的情況下直接進入RTO設備，導致有機廢氣含氧量高，增加了氣體爆炸的風險，降低了RTO設備的穩定性。進氣量不穩定也是導致設備運行不穩定的一個因素。

　　3.不合理的系統材料選擇

　　如燃燒尾氣出口管為304不銹鋼材質，導致腐蝕穿孔，影響運行；煙囪和洗滌塔采用PP材料，導致老化；后處理淬火堿洗塔選用玻璃鋼，造成玻璃鋼被堿腐蝕；切換閥和反沖洗閥采用304不銹鋼制造，導致腐蝕泄漏，影響RTO設備運行，增加維護成本。

　　4.安全裝置不足

　　由于缺乏安全裝置，RTO設備安全事故也時有發生。某企業廢氣主管采用非金屬材料制造，造成靜電積聚，引發火災、爆炸事故；一些企業高管沒有配備炸藥和阻火器；LEL保護裝置缺失或安裝距離不足以達到效果等。