沸石轉輪中VOCs殘留的處理方法，目前對VOCs的末端處理方法包括冷凝、吸附、氧化、生物處理、吸收、等離子體凈化等。我國防治VOCs的要求和力度逐步加強，沸石旋轉吸附濃縮法處理低濃度廢氣成為許多企業的首選處理方案。在使用過程中，揮發性有機化合物殘留在轉輪中，會導致沸石轉輪劣化，降低處理效率。如何避免和處理這樣的情況？為了減少沸石轉輪設備中揮發性有機化合物的殘留，應改善揮發性有機化合物廢氣的入口質量，提高脫附效率。

　　廢氣預處理措施通常包括除塵、除濕、除霧、除高沸物等。根據待處理VOCs廢氣的實際情況，選擇合適的廢氣預處理措施。比如半導體的制造工藝對生產現場的顆粒物有嚴格的要求，一般都是清潔車間。因此，有機廢氣中顆粒物的含量很小，通常不需要除塵預處理。

　　1.廢氣預處理

　　芯片制造生產過程中使用的主要有機原料通常具有低沸點和揮發性的特點，但仍不排除少量高沸點物質，如汽提液的主要成分二甘醇胺(沸程218 ~ 224℃)。在高沸點物質的處理過程中，可以增加冷凝、前期活性炭吸附等預處理裝置，避免VOCs廢氣中難以脫附的高沸點物質進入沸石轉輪。高沸點的VOCs進入廢氣管道后容易冷凝，從而增加廢氣的濕度。

　　2.用高壓空氣吹掃

　　在停機、檢查和維護期間，用高壓空氣吹掃沸石轉輪。但高壓空氣吹掃只能去除附著在沸石轉輪表面的灰塵，而VOCs有機物通常吸附在分子篩孔隙中，無法有效去除，需要配合上述其他處理方法進行選擇。