當前常見的治理技術有吸收法、冷凝法、吸附法、生物法、熱氧化法、等離子法等。同時，電化學法、膜分離法、光催化法和電子床加熱法正在開發中。為了挑選合適的治理技術(或幾種技術的組合)并最終得到較好的治理方案，需要考慮以下因素：廢氣的性質、濃度、生產的具體情況、凈化要求(達到什么排放標準)、經濟性等。以下簡要介紹常見的VOCs治理技術和裝置：

　　(1)吸附法。吸附法是一種利用使用一些多孔固體(吸附劑)來去除VOCs的技術，這類多孔固體有著從氣相混合物中選擇性吸附一些組分的能力。當前治理VOCs最常見的吸附劑是活性炭和沸石分子篩，使用的設備是閥門切換的兩床(或多床)吸附器。該技術對于需要回收的各種濃度的VOCs有著顯著的經濟效益。

　　(2)等離子體法。其基本原理是：利用陡前沿窄脈寬(ns級)的高壓脈沖電暈放電，在常溫常壓下獲得非平衡等離子體，即產生大量的高能電子和O、OH等活性粒子，使VOCs分子氧化分解，最終轉化為無害物質。

　　(3)氧化法一般通過加熱或使用催化劑使氧化反應順利進行，因此氧化法可分為以下兩種：

　　1.催化氧化法。

　　當前使用的催化劑主要分為貴金屬催化劑和非貴金屬催化劑。貴金屬催化劑主要是鉑和鈀，它們以非常細的顆粒形式分布在催化劑媒介上，媒介一般是金屬或陶瓷蜂窩體和散裝填料。典型的非貴金屬催化劑是利用將過渡元素金屬氧化物(如二氧化錳)與粘合劑混合而制備的各種形狀的催化劑。

　　2.熱氧化法

　　熱氧化可以分為三種：熱力燃燒式、間壁式和蓄熱式。兩者的主要差別在于熱量回收的方式不同。這三種技術都可以與催化法相結合來降低反應溫度。

　　A.熱氧化器。熱燃燒熱氧化器一般指氣體燃燒爐。它由助燃劑、混合區和燃燒室組成。助燃劑(天然氣、石油等)作為輔助燃料，燃燒產生的熱量預熱混合區的VOCs廢氣。燃燒室為預熱后的廢氣提供了足夠的空間和時間來完成最終的氧化反應。

　　B.間壁式熱氧化器。隔膜熱氧化是指在熱氧化裝置中增加一個隔膜換熱器，將熱量從燃燒室排出的高溫氣體傳遞到氧化裝置入口處的低溫氣體。

　　C.蓄熱式熱氧化器。蓄熱式熱氧化器(RTO)是在熱氧化器中加入蓄熱式換熱器，預熱揮發性有機化合物廢氣，然后進行氧化反應。